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气相沉积前驱体

货号 产品名称
C003019 三(五氟苯基)硼烷
Tris(perfluorophenyl)borane,97% (CHEMICELL)
CAS号 1109-15-5
分子式 C18BF15
分子量 511.98
别名 三(五氟苯)硼烷;三(五氟苯基)硼;三(五氟苯基)硼烷;反(五氟苯荃)硼;Tris(pentafluorophenyl)borane 三(五氟苯基)硼烷;四氢-3-呋喃丙醇;反(五氟苯荃)硼;三(五氟苯)硼;三(五氟苯)硼;三(五氟苯基)硼烷 溶液;三(五氟苯基)硼,97%;三(五氟苯基)硼, 1G;三(五氟苯基)硼烷,97%;三(五氟苯基)硼烷(TPFPB)
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C015731 四氯化硅
Silicon(IV) chloride,
CAS号 10026-04-7
分子式 CL4SI
分子量 169.90
别名 四氯化硅;四氯化硅(IV);氯化硅;四氯硅烷;四氯四硅烷;四氯化硅,AR;氯化硅(IV);四氯化矽;四氯矽烷;四氯甲硅烷;四氯化硅 溶液;四氯化硅/四氯硅烷
EINECS 233-054-0
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